表面平整度高:为减少信号散射,电镀层需具备的表面平整度,特别是在微带线、共面波导等结构中,通常要求镀层表面粗糙度 Ra<0.5μm。
前处理:包括除油、微蚀等步骤,去除基板表面的有机物和氧化层,粗化表面以提高镀层附着力。对于罗杰斯等特殊基材,可能还需要进行等离子体处理。
种子层沉积:采用化学镀或物相沉积(PVD)方法,在基板表面形成一层薄的导电种子层,通常为铜或镍,厚度约 0.1-0.5μm。
表面处理:根据应用需求,选择合适的表面处理工艺,如选择性电镀金 + 沉银组合。先全板沉银,再通过干膜掩膜保护,对关键区域进行选择性电镀金。
后处理:包括清洗、烘干、防氧化处理等,如在沉银层表面涂覆一层有机防氧化剂,以延长其储存寿命。
图形转移:定义线路与镀层区域
涂布高精度光刻胶 / 干膜,通过曝光、显影工艺,将线路图形转移到基材表面。
高频高速板对图形精度要求,需控制线宽 / 线距偏差≤±1μm,避免开窗偏移导致镀层错位。
显影后进行检查修正,去除残留胶渣,确保线路区域完全裸露、非线路区域被保护。

